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Emisión de rayos X inducida por electrones de baja energía Espectrometría 

La espectrometría de emisión de rayos X inducida por electrones de baja energía (LEXES) es una técnica única para el análisis elemental selectivo en la superficie cercana utilizada para la metrología de semiconductores.

RapifleX® MALDI Tissuetyper

Sonda Superficial

La EX-300 de CAMECA es una herramienta de metrología única basada en LEXES que respalda los principales desarrollos de semiconductores desde la era del nodo de 90 nm y el seguimiento de la integración de los materiales más diversos. Acelera el tiempo de lanzamiento al mercado de sus dispositivos de memoria y lógica y aumenta el rendimiento integrado de su producción de alto volumen.
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