Espectrometría de Masas de Iones Secundarios
La técnica SIMS proporciona una combinación única de sensibilidad extremadamente alta para todos los elementos, desde hidrógeno hasta uranio y superiores (límite de detección hasta el nivel de ppb para muchos elementos), imágenes de alta resolución lateral (hasta 40 nm) y un fondo muy bajo que permite Alto rango dinámico (más de 5 décadas).