Instrumentos electrónicos y dispositivos electromecánicos

Tomografía de Fuerza Atómica

Atom Probe Tomography (APT) es el único material técnica de análisis que ofrece amplias capacidades para imágenes en 3D y composición química mediciones a escala atómica cercana (alrededor Resolución de 0.1-0.3 nm en profundidad y 0.3-0.5 nm lateralmente).

Espectrometría de Masas de Iones Secundarios

La técnica SIMS proporciona una combinación única de sensibilidad extremadamente alta para todos los elementos, desde hidrógeno hasta uranio y superiores (límite de detección hasta el nivel de ppb para muchos elementos), imágenes de alta resolución lateral (hasta 40 nm) y un fondo muy bajo que permite Alto rango dinámico (más de 5 décadas).

Microanálisis de Sonda Electrónica

EPMA proporciona resultados mucho mejores que los sistemas estándar SEM / EDS. Debido a las propiedades internas de WDS, la sensibilidad general, el análisis de elementos ligeros y los riesgos de interpretación errónea de espectros cualitativos son superiores con EPMA. La resolución espectral y el tiempo muerto del detector son mucho mejores que EDS (espectroscopía de dispersión de energía). El sistema de regulación del haz de excitación y las sofisticadas capacidades de la etapa de muestreo garantizan que esta técnica proporcione estabilidad y repetibilidad de medición sobresalientes.

Emisión de Rayos X inducida por electrones de baja energía

La espectrometría de emisión de rayos X inducida por electrones de baja energía (LEXES) es una técnica única para el análisis elemental selectivo en la superficie cercana utilizada para la metrología de semiconductores.